超高真空腔体非标定制 各种形状规格的真空腔体设计制造
超高真空（UHV）和特高真空腔室是机密机械和真空技术的结晶，特高真空（XHV）腔室更是真空行业的尖端集成技术。我们汇集多年技术经验和优秀设备，为客户定制生产各种形状和规格的UHV腔室。提供从选材、机械加工、焊接、表面处理到脱气、真空测试、检漏、设备成型等全套工艺服务。专业的系统集成技术团队和测试设备保证生产的产品满足您的极端需求。
柱形腔室 UHV方形腔室 UHV腔室接口
腔室装配
腔室焊接 腔室成型 腔室检漏
UHV腔室检测标准：
- 材质：标准SS304、SS304L、SS316
- 全腔室须内焊接
- 表面处理：酸碱洗、电解抛光
- 泄漏率 <1 x 10 -12 Pa.m3/s
- ＞150℃真空加热烘烤24小时
- 腔室极限真空度<5.0x10 -10 torr
- RGA 总压力 <1 x10 -9 torr
附：真空系统标准
创建时间：2022-09-13 22:35
