代理安捷伦钛升华复合离子泵 (TSP)非蒸散型吸气剂 (NEG) 复合离子泵系列
钛升华复合离子泵
采用三极离子泵、二极离子泵和改进型二极离子泵配置的 150 L/s 离子-TSP-低温挡板复合泵
VacIon Plus 300 复合泵
采用三极离子泵、二极离子泵和改进型二极离子泵配置的 300 L/s 离子-TSP-低温挡板复合泵
VacIon Plus 500 复合泵
采用三极离子泵、二极离子泵和改进型二极离子泵配置的 500 L/s 离子-TSP-低温挡板复合泵
TSP 泵芯
可提供钛丝型或 Mini Ti-Ball 钛球型
TSP 常温屏蔽罩和低温挡板
与 TSP 泵芯结合使用
非蒸散型吸气剂
CombiNEG 40-400 吸气剂复合型离子泵
VacIon 40 L/s 与吸气剂泵的紧凑结合可实现 UHV/XHV 状态
CombiNEG 150-1000/2000 吸气剂复合型离子泵
150 L/s 离子泵和吸气剂泵结合可实现 UHV/XHV 状态
吸气剂泵
紧凑型 SAES D400-2、D1000 和 D2000 吸气剂泵
2022-12-14 14:09